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光敏组合物及制造的光致抗蚀剂干膜制造技术
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文档序号:34551162
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本发明提供了光敏组合物,这些光敏组合物包含:(a)新颖的聚合物粘合剂;(b)可聚合化合物;(c)光引发剂;以及(d)光敏剂。这些光敏组合物具有改善的显影和/或剥离性能以及可比较的附着和分辨率。附着和分辨率。
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该专利属于杜邦电子公司所有,仅供学习研究参考,未经过杜邦电子公司授权不得商用。
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