下载一种半导体电镀设备的技术资料

文档序号:34551130

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本实用新型涉及半导体加工领域,具体是一种半导体电镀设备,包括电镀槽,所述电镀槽内壁上安装有电极板,电镀槽的顶部开设有连接凹口,连接凹口之间设置有支撑架,支撑架内壁上安装有齿条板,齿条板与电镀槽的外壁上安装有第一驱动组件;支撑架上安装有支撑杆...
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