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本实用新型公开了一种新型自动化CVD设备，包括EFEM自动化设备、偶联剂镀膜沉积室、parylene派瑞林镀膜沉积室、硅烷偶联剂涂布机、二甲苯涂布机和气缸控制升降平台，所述EFEM自动化设备一侧设置有两自动化入口，EFEM自动化设备另一侧对...
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