下载一种基于双波长的可调量程表面形貌测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:34533007

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本发明公开了一种基于双波长的可调量程表面形貌测量装置及测量方法,涉及表面形貌测量领域,用于解决现有的表面形貌测量方法存在相位差取值范围限制对表面形貌测量范围的影响以及其处理过程较为复杂,且面临单步长相位差大幅跳跃而无法补偿的问题,双波长光经...
该专利属于安徽大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽大学授权不得商用。

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