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本实用新型公开一种硅片清洗机用硅片清洗结构,涉及硅片清洗领域。该硅片清洗机用硅片清洗结构包括清洗槽和清洗篮,清洗篮的正面和背面均设有震动清洗机构,震动清洗机构包括电机,电机上固定连接有凸轮,凸轮的上方设有悬挂臂,悬挂臂上固定连接有连接板,悬...该专利属于北京市京徽龙江科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京市京徽龙江科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种硅片清洗机用硅片清洗结构,涉及硅片清洗领域。该硅片清洗机用硅片清洗结构包括清洗槽和清洗篮,清洗篮的正面和背面均设有震动清洗机构,震动清洗机构包括电机,电机上固定连接有凸轮,凸轮的上方设有悬挂臂,悬挂臂上固定连接有连接板,悬...