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一种基于超磁致调节机构的微驱动加工平台制造技术
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文档序号:34529896
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本实用新型公开了一种基于超磁致调节机构的微驱动加工平台,包括:底座;至少一个超磁致调节机构,一端安装在所述底座上;加工平台,固定连接于所述超磁致调节机构的另一端;位移传感器,设置在所述加工平台上,用于检测所述加工平台的移动的位移量;控制器,...
该专利属于上海应用技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海应用技术大学授权不得商用。
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