下载一种蓝光带通硅基探测芯片的技术资料

文档序号:34518064

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本发明公开了一种蓝光带通硅基探测芯片,该器件包括基底、铝金属层、硅层、二氧化硅圆柱阵列和金微纳结构阵列,所述基底上表面覆盖铝金属层,所述铝金属层的上表面设有硅层,所述硅层内设置二氧化硅圆柱阵列,所述硅层上表面设置金微纳结构阵列。本发明通过在...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。

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