专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
暨南大学
>
一种蓝光带通硅基探测芯片制造技术
>技术资料下载
下载一种蓝光带通硅基探测芯片的技术资料
文档序号:34518064
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种蓝光带通硅基探测芯片,该器件包括基底、铝金属层、硅层、二氧化硅圆柱阵列和金微纳结构阵列,所述基底上表面覆盖铝金属层,所述铝金属层的上表面设有硅层,所述硅层内设置二氧化硅圆柱阵列,所述硅层上表面设置金微纳结构阵列。本发明通过在...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。