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本发明涉及一种基于量子效应的高性能铁电隧穿结及其制备方法。高性能铁电隧穿结及其制备方法包括衬底上由下至上设置的氧化层和沟道层；沟道层上表面设有绝缘介质层和导流层交替堆叠的垂直结构，每个导流层设有专属的接触孔，接触孔内填充电极；垂直结构设有沟...
该专利属于西安电子科技大学杭州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学杭州研究院授权不得商用。

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