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本发明涉及一种借助于多束带电粒子检查设备来检查样品的方法以及用于执行该方法的设备。多束带电粒子检查设备配置成将带电粒子子束阵列投射在所述样品上的曝光区域内。所述设备包括检测系统，该检测系统用于检测由于带电粒子子束阵列与样品的相互作用而由样品...
该专利属于戴尔米克知识产权私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过戴尔米克知识产权私人有限公司授权不得商用。

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