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金属互连结构使用自上而下的掺杂工艺掺杂有锌、铟或镓，以改善扩散阻挡特性，且对线路电阻有最小影响。在金属化之前或金属化之后引入掺杂物。可通过在金属化之前于高温下在衬里层上进行化学气相沉积、通过在金属化之后于高温下在金属特征上进行化学气相沉积、...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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