下载一种压电驱动六自由度柔顺定位系统的技术资料

文档序号:34506516

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本发明涉及工件柔顺定位检测技术领域,具体为一种压电驱动六自由度柔顺定位系统;包括工控机,所述工控机电性连接有压电陶瓷控制器,压电陶瓷控制器与若干个压电陶瓷促动器电性连接,若干个压电陶瓷促动器设置于六自由度柔顺定位平台的底部,所述六自由度柔顺...
该专利属于散裂中子源科学中心所有,仅供学习研究参考,未经过散裂中子源科学中心授权不得商用。

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