一种压电驱动六自由度柔顺定位系统技术方案

本发明专利技术涉及工件柔顺定位检测技术领域，具体为一种压电驱动六自由度柔顺定位系统；包括工控机，所述工控机电性连接有压电陶瓷控制器，压电陶瓷控制器与若干个压电陶瓷促动器电性连接，若干个压电陶瓷促动器设置于六自由度柔顺定位平台的底部，所述六自由度柔顺定位平台的四个边侧设置有柔顺定位台；本发明专利技术机构简单紧凑，采用电容传感器和倾角传感器反馈简单易用，闭环控制定位准确，适用于不同应用场合；可经济的替代激光干涉仪，倾角传感器基于重力测量平台斜度，简单易用，动态性能好。动态性能好。动态性能好。

【技术实现步骤摘要】
一种压电驱动六自由度柔顺定位系统


[0001]本专利技术涉及工件柔顺定位检测
，具体为一种压电驱动六自由度柔顺定位系统。

技术介绍

[0002]随着精密工程技术与尖端科学研究领域的快速发展，纳米级精密定位技术需求也与日俱增。如在光源同步加速器、航空航天等领域，高精度实验的束线光斑和样品尺度都在纳米和微米尺度，因此对精密仪器或光学器件位置调整常需要定位平台满足纳米级精度要求。压电陶瓷具有体积小、位移分辨率高、输出力大、响应速度快等优点，很适合作为驱动器件。
[0003]单、双等少自由度平面分布式柔顺平台一直受到众多关注，而空间整体式柔顺平台可满足多自由度需求，适用于精密定位、微操作、微装配等领域，潜力巨大。目前，六自由度柔顺定位平台除采取由少自由度构型组合叠加，多采用由斯图尔特上世纪70年代提出的Stewart构型及其演化形式，Stewart 平台拥有六空间自由度且为并联形式，也称为六自由度并联平台，其具有刚度高、承载能力强、位置误差不累计等特点。但受限于机构自身性能限制等因素，难以满足纳米级快速响应的精密调姿需求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电驱动六自由度柔顺定位系统，包括工控机，其特征在于，所述工控机电性连接有压电陶瓷控制器，压电陶瓷控制器与若干个压电陶瓷促动器电性连接，若干个压电陶瓷促动器设置于六自由度柔顺定位平台的底部，所述六自由度柔顺定位平台的四个边侧设置有柔顺定位台。2.根据权利要求1所述的一种压电驱动六自由度柔顺定位系统，其特征在于：在柔顺定位平台上表面形心处安装位移检测挡块，与位移检测挡块三向表面平行非接触布置电容位移传感器，使用带弹簧垫片的螺钉将倾角传感器固定连接在柔顺定位平台上顶部，其敏感轴在使用分别与X、Y倾斜轴向保持平行不接触，便于监测平台横滚和俯仰角度。3.根据权利要求2所述的一种压电驱动六自由度柔顺定位系统，其特征在于：所述倾角传感器均与柔顺定位台的顶部固定连接。4.根据权利要求2所述的一种压电驱动六自由度柔顺定位系统，其特征在于：所述电容位移传感器的底部设置有敏感轴，所述敏感轴的轴杆与六自由度柔顺定位平台的X、Y倾斜轴向保持平行。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄建，崔旭，杨雪锋，张孟晨，许虹，李帅，邓红桃，
申请(专利权)人：散裂中子源科学中心，
类型：新型
国别省市：