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本发明提供一种容易形成分辨率以及尺寸控制性高且截面形状的矩形性良好的抗蚀剂图案的化学放大型正型感光性组合物、具备由该化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用所述化学放大型正型感光性组合物的图案化的抗...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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