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本发明实施例中提供的基于平面弯曲光波导的芯片式微型气室，硅基衬底，设置于硅基衬底上的光波导下包层，设置在光波导下包层上的芯层，芯层为脊形光波导结构，包括宽口激光入射波导、波导模式转化器、直波导、弯曲波导和宽口激光输出波导，设置在芯层上的气室...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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