下载基于临时键合的晶圆背面加工方法及晶圆的技术资料

文档序号:34496744

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本发明公开了基于临时键合的晶圆背面加工方法及晶圆,属于半导体加工技术领域,包括以下步骤:在载片上涂覆键合胶并进行洗边处理;对晶圆进行台阶式修边处理,得到具有台阶倒角的晶圆;将载片与晶圆进行键合;对晶圆进行多次减薄处理,直至达到要求厚度;完成...
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