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本发明公开了一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，包括对N型硅片进行前清洗、双面磷扩散吸杂、链式去单面PSG、后清洗(槽式单侧绒面优化)、槽式去单面PSG、双绒面尺寸调控和塔尖圆滑处理。本发明方法，不仅能够较好地改善N型硅片质量，又能有...
该专利属于湖南红太阳新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳新能源科技有限公司授权不得商用。

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