一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，包括对N型硅片进行前清洗、双面磷扩散吸杂、链式去单面PSG、后清洗(槽式单侧绒面优化)、槽式去单面PSG、双绒面尺寸调控和塔尖圆滑处理。本发明专利技术方法，不仅能够较好地改善N型硅片质量，又能有效控制在处理过程中硅片的减薄量，有利于HJT电池硅片薄片化控制和推广，同时还能提升和调控单面表面活性磷浓度，通过形成的高低结作用，改善载流子传输，有利于提高电池效率，而且还能实现硅片两面绒面金字塔尺寸差异，满足特殊需求。本发明专利技术适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法具有操作简单、能耗低、硅片减薄量小、吸杂效果好等优点，使用价值高，应用前景好。应用前景好。应用前景好。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法


[0001]本专利技术属于N型电池制备
，涉及一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法。

技术介绍

[0002]N型电池，包括HJT电池和TOPCon电池，由于具有理论效率高，光衰小，弱光响应好，双面发电等优点，在近期受到了广泛的关注和研究，GW级规模量产线已经形成。N型硅片是HJT电池和TOPCon电池重要生产材料，其质量对HJT电池和TOPCon电池的效率有较大的影响。当前行业N型硅片不仅产能低，硅片质量也参差不齐，这在很大程度上阻碍了N型电池技术的发展。
[0003]为了改善N型硅片质量对电池效率的影响，行业主要通过磷扩散吸杂(如HJT电池)和光注入退火(如TOPCon电池)，其中磷扩散吸杂是利用金属杂质向具有晶格不完整的区域聚集的特性，通过引入缺陷形成杂质富集区域，然后将这一层杂质富集的损伤区域去掉，就可达到去除硅片中部分杂质的目的，减少硅片中少数载流子的复合中心，提高电池的短路电流，从而提高太阳能电池光电转换效率。然而，常规的磷扩散吸杂一般会采取双面高温深度管式磷扩散吸杂，虽然能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对N型硅片表面进行前清洗，在硅片双面形成绒面；S2、对N型硅片进行磷扩散吸杂，在硅片双面吸杂后形成磷掺杂n++区和PSG层；S3、对N型硅片进行链式清洗，去除背面和边缘的PSG层；S4、对N型硅片去除PSG面进行后清洗，增大绒面金字塔尺寸；S5、对N型硅片进行槽式清洗，去除另一表面的PSG层；S6、对N型硅片双面绒面金字塔尺寸进行调控；S7、对N型硅片双面绒面进行塔尖圆滑处理，完成对N型硅片双面绒面的差异化处理。2.根据权利要求1所述的适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，其特征在于，步骤S2中，所述磷掺杂n++区表面磷掺杂浓度为2
×
10
19
/cm3～6
×
10
21
/cm3；所述磷掺杂n++区磷掺杂浓度≥1
×
10
18
/cm3的深度为0.1～1.2μm。3.根据权利要求2所述的适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，其特征在于，步骤S2中，所述磷扩散吸杂包括以下步骤：(1)前氧化：将N型硅片送入扩散炉内，通入氧气，对N型硅片进行氧化处理；(2)沉积：往扩散炉内通入磷源，在N型硅片表面沉积大量源量；(3)推进：N型硅片升温到设定温度，进行高温磷推进，杂质熔解并向表面析出；(4)降温：对扩散炉进行降温；(5)降温氧化：往扩散炉内中通入氧气，对N型硅片进行氧化处理；(6)出舟。4.根据权利要求3所述的适用于N型硅片的磷扩散吸杂及清洗方法，其特征在于，步骤(1)中，所述前氧化的工艺参数为：时间为120～300s，压力为50～200mbar，温度为760～800℃，大氮流量为600～1200mL/min，小氮流量为0mL/min，氧气流量为300～1200mL/min；步骤(2)中，所述沉积的工艺参数为：时间为300～900s，压力为60～200mbar，温度为760～800℃，大氮流量为300～1000mL/min，小氮流量为300～1600mL/min，源瓶控压0.6～0.8个大气压，氧气流量为300～1200mL/min；步骤(3)中，所述推进的工艺参数为：时间为300～1800s，压力为60～200mbar，温度为800～880℃，大氮流量为1800～3000mL/min，小氮流量为0mL/min，氧气流量为0mL/min；步骤(4)中，所述降温的工艺参数为：时间为120～1800s，压力为60～200mbar，温度为720～780℃，大氮流量为1000m L/min，小氮流量为0mL/min，氧气流量为0mL/min；步骤(5)中，所述降温氧化的工艺参数为：时间为60～900s，压力为60～200mbar，温度为720～780℃，大氮流量为500～1200m L/min，小氮流量为0L/min，氧气流量为600～3000m L/min；步骤(6)中，所述出舟的工艺参数为：时间为300...

【专利技术属性】
技术研发人员：易辉，周塘华，江庆，何兴泉，谌业斌，周而立，
申请(专利权)人：湖南红太阳新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：