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本实用新型提供一种测温装置及半导体机台。其中，测温装置包括：第一运动单元、第二运动单元和温度传感器。第一运动单元交叉叠置于第二运动单元上，且第二运动单元的滑块与第一运动单元的基座相接；温度传感器设置于第一运动单元的滑块上。因此，温度传感器不...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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