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本实用新型公开了一种SAW晶片结构,包括压电衬底和涂覆式支撑层;所述涂覆式支撑层覆盖所述压电衬底的背面和侧面,并延伸至覆盖所述压电衬底的正面的边缘;所述涂覆式支撑层由介电材料形成,厚度为5~20μm。涂覆式支撑层包覆压电衬底的背面、侧面以及...该专利属于泉州市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泉州市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种SAW晶片结构,包括压电衬底和涂覆式支撑层;所述涂覆式支撑层覆盖所述压电衬底的背面和侧面,并延伸至覆盖所述压电衬底的正面的边缘;所述涂覆式支撑层由介电材料形成,厚度为5~20μm。涂覆式支撑层包覆压电衬底的背面、侧面以及...