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本发明公开了用于高增益紫外光电探测器的碳化硅超构表面及制备方法，包括：绝缘基板；碳化硅层，被设置在绝缘基板表面；碳化硅超构表面，被设置在碳化硅层表面；其中，所述碳化硅超构表面包括纳米柱或纳米孔微结构，所述纳米柱或纳米孔微结构间距相同，并按照...
该专利属于江南大学所有，仅供学习研究参考，未经过江南大学授权不得商用。

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