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本申请实施例提供一种电极固定组件与干法刻蚀设备。电极固定组件包括第一固定件和第二固定件，其中，第一固定件的材料的硬度大于第二固定件的材料的硬度；电极固定组件用于设置在干法刻蚀设备中以将上部电极固定在设备本体上，第一固定件和第二固定件均设置于...
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