下载一种单晶炉的组合套筒及单晶炉的技术资料

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本公开提供了一种单晶炉的组合套筒及单晶炉,所述组合套筒包括套筒主体,所述套筒主体具有在其轴向方向上贯通的中空腔,且所述中空腔在所述轴向方向上分隔为上腔室和下腔室,且所述上腔室和所述下腔室之间在所述轴向方向上通过连通孔相通;其中,所述上腔室的...
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