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本发明公开了一种基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置及其控制方法，基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置主要包括音速喷嘴、球阀、减压阀、温度传感器、压力传感器和控制器。该装置利用音速喷嘴原理将质量流量控制过程转化为压力控制过程，并且采用机械自动控...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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