下载基板增层加工方法及封装结构的技术资料

文档序号:34460344

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本发明涉及半导体加工工艺技术领域,具体公开了一种基板增层加工方法,其中,包括:提供载板;在载板的一个表面上进行热压包覆膜涂覆,形成覆盖双面铜柱的第一涂覆膜;对第一涂覆膜进行减薄处理以露出双面铜柱;在第一涂覆膜背离载板的表面形成双面重布线层;...
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