下载一种晶圆片甩干机及实现方法的技术资料

文档序号:34459620

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆片甩干机及实现方法,其甩干机包括箱体以及设置于箱体顶部的筒体,筒体顶部铰接有筒盖,筒盖中部设置有镜头朝下的相机;筒体中部设置有托盘,托盘底部连接有转轴,转轴的下端旋转连接至箱体的底壁上;筒体底部设置有出水孔,出水孔底部设置...
该专利属于智程半导体设备科技(昆山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过智程半导体设备科技(昆山)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。