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本申请涉及化学气相沉积炉制造技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，包括炉体、位于所述炉体内的石墨加热体、环绕于所述石墨加热体侧部的保温周套和位于所述石墨加热体底部下方的保温底托，所述保温周套和所述保温底托均位于所述保温炉体内。如此设置，通过...
该专利属于天津得瑞伯机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津得瑞伯机电设备有限公司授权不得商用。

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