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本发明提供一种铜蚀刻液组合物及其使用方法。本发明的铜蚀刻液按重量百分比包括10~20%的双氧水尿素，2~10%的无机酸，1~12%的有机酸，1~8%的无机盐，10~30%的调节剂以及余量水。本发明的铜蚀刻液具有较高的铜离子负载能力、较好的储...
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