下载一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置的技术资料

文档序号:34453953

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本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置,微机电系统包括:第一膜片;第二膜片,与第一膜片相对设置;若干支撑件,支撑件包括若干支撑壁,支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片,第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支...
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