一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置制造方法及图纸

本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，微机电系统包括：第一膜片；第二膜片，与第一膜片相对设置；若干支撑件，支撑件包括若干支撑壁，支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片，第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上，用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。膜片之间的板间电容。膜片之间的板间电容。

【技术实现步骤摘要】
一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置


[0001]本申请涉及电声转换装置
，特别是一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置。

技术介绍

[0002]在现有的具有双膜结构的微机电系统中，包括上膜、下膜以及用于连接上膜和下膜的若干支撑件，支撑件允许上膜和下膜在它们最接近的地方连接。
[0003]在某些设计中，需要调整双膜结构的机械柔顺性，当双膜结构受到压力时，会发生变形，导致在支撑件横截面上产生弯曲应变。该区域受弯越硬，整个双层膜结构的柔顺性越低。该区域对弯曲的柔顺性越强，整个双层膜结构的柔顺性越高，麦克风灵敏度也就越高。
[0004]本申请涉及支撑件和改变其柔顺性，主要是增加其柔顺性，从而在不改变其他设计或材料参数的情况下，双膜结构可以具有更高的柔顺性。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，本申请提供一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，以解决现有技术中的技术问题，它能够提高双膜结构的柔顺性。
[0006]第一方面，本申请提供了一种微机电系统，包括：
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统，其特征在于，包括：第一膜片；第二膜片，与所述第一膜片相对设置；若干支撑件，设置在所述第一膜片和所述第二膜片之间，所述支撑件包括若干支撑壁，所述支撑壁的相对两端分别连接所述第一膜片和所述第二膜片，所述第一膜片、所述第二膜片与同一所述支撑件内相邻的两个所述支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在所述第一膜片上或同时设置于所述第一膜片和所述第二膜片上，用于将所述第一腔室与外部连通。2.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述连通槽包括狭缝形槽体结构、圆形槽体结构、腰型槽体结构、角形槽体结构或S形槽体结构。3.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：每个所述支撑件对应设有多个所述连通槽，多个所述连通槽沿着第一方向间隔设置。4.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述连通槽贯穿于所述第一膜片上，所述第一腔室内的部分区域具有填充材料。5.根据权利要求1所述的微机电系统，其特征在于：所述支撑件包括多个第一腔室，在相...

【专利技术属性】
技术研发人员：帕特安普，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：