下载一种芯片挑片装置的技术资料

文档序号:34453886

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本实用新型提供了一种芯片挑片装置,涉及半导体加工设备技术领域,该芯片挑片装置包括:底座;限位机构,设于底座之上并用于承载芯片盒,限位机构包括承载板以及设于承载板两侧的限位板,承载板设于底座之上,芯片盒置于承载板之上,限位板抵靠芯片盒的侧壁;...
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