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本实用新型提供了面板行业CVD设备尾气处理保护装置，包括：终端阀门分配箱、工艺设备接收特气盘面、设备腔室、尾气处理泵、尾气处理器、CVD排气装置；所述终端阀门分配箱通过工艺设备接收特气盘面连接设备腔室，且设备腔室通过尾气处理泵与尾气处理器连...
该专利属于河南省华锐光电产业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南省华锐光电产业有限公司授权不得商用。

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