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本发明提供了一种辅助上料机构，包括底座、升降架、升降T型丝杠、升降滑座、平移T型丝杠、平移滑座和叉座；升降架竖立在底座上，升降T型丝杠设置在升降架上，升降滑座与升降T型丝杠螺接；转动升降T型丝杠，升降滑座能够沿升降架上下移动；平移T型丝杠沿...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。