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本实用新型提供了一种碳化硅晶体尺寸检测装置,涉及半导体技术领域,该碳化硅晶体尺寸检测装置包括底座、支架、托盘及高度检测器,高度检测器包括第一检测件及第二检测件,第二检测件设置于第一检测件内且该第二检测件能露出于第一检测件,第一检测件用于检测...该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。
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