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弹坑检测方法技术
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文档序号:34436608
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本申请提供一种弹坑检测方法,所述弹坑检测方法包括:制备饱和碱溶液,将完成键合后的芯片浸泡在饱和碱溶液中预设时间,取出浸泡在所述饱和碱溶液中的芯片,对芯片进行清洗,并在显微镜下进行观察;观察清洗后的芯片,并确认清洗后的芯片是否存在弹坑。采用本...
该专利属于深圳基本半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳基本半导体有限公司授权不得商用。
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