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本实用新型公开了一种还原炉底盘平整度的检测装置,属于多晶硅生产领域,包括检测本体(1),检测本体(1)的顶部为第一滑轨(11),检测本体(1)的底部设有第二滑轨(12),检测本体(1)的顶部水平设有检测伸缩杆(2),检测伸缩杆(2)上设有用...该专利属于亚洲硅业(青海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种还原炉底盘平整度的检测装置,属于多晶硅生产领域,包括检测本体(1),检测本体(1)的顶部为第一滑轨(11),检测本体(1)的底部设有第二滑轨(12),检测本体(1)的顶部水平设有检测伸缩杆(2),检测伸缩杆(2)上设有用...