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本实用新型公开了一种激光微孔检测设备，包括：激光器，用于发射激光光束；沿着激光器发射的激光光束方向依次设置的光束匀光器、图像传感器，其中，光束匀光器与图像传感器分别设置于待检测的微孔样品的两侧；光束匀光器用于接收激光光束并将激光光束匀化为标...
该专利属于帝尔激光科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过帝尔激光科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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