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本发明公开一种碳化硅外延生长管路系统，其包括储液装置、输入单元以及输出单元，储液装置包括恒温机构及设于其内的液罐，输入单元包括一输入管路，输入管路的两端分别密封地连接于液罐、载气源，输入管路上设有第一流量控制器；输出单元包括输出主管路以及并...
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