下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:34421993

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一种半导体结构及其形成方法,其中半导体结构包括:衬底;鳍部结构,位于衬底上,鳍部结构包括沿衬底表面法线方向间隔设置的多个沟道层,相邻沟道层之间具有通道;内侧墙,位于通道两侧的相邻沟道层之间;凹槽,位于内侧墙和通道两侧,凹槽暴露出沟道层的部分...
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