下载一种半导体加工用测试装置的技术资料

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本实用新型涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体加工用测试装置,包括底座机构、移动机构、翻转机构和检测机构,所述移动机构位于底座机构上端的左右两侧,所述翻转机构位于移动机构的下方,所述检测机构位于移动机构的前端,所述移动机构包括固定块、连接...
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