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本发明公开了一种研磨液供给装置及研磨机，研磨液供给装置包括供液管路和吹气组件，供液管路具有出液端，供液管路的出液端适于设置于抛光垫的上方，以滴落研磨液至抛光垫上；吹气组件设于供液管路的出液端一侧，用于向研磨液吹气，以使研磨液均匀分布在抛光垫...
该专利属于北京烁科精微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科精微电子装备有限公司授权不得商用。

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