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本实用新型涉及一种化学液含水量控制装置及补水系统，其中控制装置包括机械臂和喷淋水槽，机械臂包括抓取机械手和升降机构，升降机构带动抓取机械手上下运动，喷淋水槽内设置喷水管，抓取机械手下降至喷淋水槽内时，喷水管的出水端向抓取机械手喷淋水；补水系...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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