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本发明涉及电解质电容技术领域，具体涉及一种具有强场稳定结构的多层复合薄膜及其制备方法，包括以下步骤：清洗衬底基片；通过磁控溅射的方法在衬底基片上依次溅射第一Al层、Ti层和第二Al层，得到三层复合薄膜；以得到的三层复合薄膜，进行阳极氧化，采...
该专利属于佛山科学技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过佛山科学技术学院授权不得商用。

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