下载CIS器件的制作方法的技术资料

文档序号:34387941

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本申请公开了一种CIS器件的制作方法,包括:在后段结构上形成第一氮化层,该后段结构的下方形成有CIS器件,该后段结构包括介质层和形成于介质层中的金属层;进行紫外线烘烤处理;在第一氮化层上形成第一氧化层;在第一氧化层上形成第二氮化层。本申请在...
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