下载一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具的技术资料

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本实用新型公开了一种半导体设备圆形部件旋转打磨通用夹具,包括驱动转轴,所述驱动转轴的顶端设置有十字连接块,所述十字连接块的上方设置有旋转打磨平台,所述旋转打磨平台的表面设置有四个对称分布的滑轨槽,所述滑轨槽的中间活动设置有装夹滑块,所述装夹...
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