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本实用新型涉及晶圆加工技术领域,具体涉及一种晶圆划片机;包括移动组件和划片工件,还包括吸附组件,在需要对晶圆进行划片时,便将晶圆放置在放置盘上,便启动放置槽内部的真空泵,真空泵的输出端便带动连通的连接管,将固定连接的吸附盘进行吸附,吸附盘便...该专利属于科力芯(苏州)半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科力芯(苏州)半导体设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及晶圆加工技术领域,具体涉及一种晶圆划片机;包括移动组件和划片工件,还包括吸附组件,在需要对晶圆进行划片时,便将晶圆放置在放置盘上,便启动放置槽内部的真空泵,真空泵的输出端便带动连通的连接管,将固定连接的吸附盘进行吸附,吸附盘便...