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动态随机存取存储器及其制造方法技术
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文档序号:34378582
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本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法。此动态随机存取存储器包括埋入式字线、位线、位线接触结构、电容接触结构及气隙结构。埋入式字线形成于基板中,且沿着第一方向延伸。位线形成于基板上,且沿着第二方向延伸。位线接触结构形成于位线下方。电容...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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