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本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；顶电极；压电层；底电极和声学镜，其中：在基底和谐振结构之间设置有支撑层，压电层为与所述基底大体平行布置的单晶压电层；在通过底电极的非电连接端和顶电极的非电连接端的平行于谐振器的厚度方向的一个第一截面中...
该专利属于诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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