下载三维存储器、制备方法以及存储系统的技术资料

文档序号:34373567

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本申请提供了一种三维存储器、制备方法及存储系统,三维存储器包括:叠层结构;覆盖加固层,设置于叠层结构上;栅线间隙结构,沿叠层结构的堆叠方向贯穿叠层结构,并在垂直于堆叠方向的第一方向延伸,其中覆盖加固层包括至少一个隔离结构,隔离结构沿堆叠方向...
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