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本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置通过对对象物照射激光而在对象物的内部形成改质区域。激光加工装置包括：支撑部；激光光源；与显示于显示部的调制图案对应地调制激光的空间光调制器；将由空间光调制器调制后的激光聚光至对象物的聚光部；...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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