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具有去除了部分材料的电极的电容器以及相关半导体装置、系统和方法制造方法及图纸
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下载具有去除了部分材料的电极的电容器以及相关半导体装置、系统和方法的技术资料
文档序号:34366171
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本申请涉及具有去除了部分材料的电极的电容器以及相关半导体装置、系统和方法。一种DRAM电容器可包含第一电容器电极、邻近于所述第一电容器电极的电容器电介质和邻近于所述电容器电介质的第二电容器电极。所述第一电容器电极可包含下部部分、上部部分和在...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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